Bộ điều khiển chân không được sử dụng để di chuyển hoặc định vị tấm wafer hoặc vật phẩm trong buồng chân không chuyên dụng và cho các ứng dụng xử lý vật liệu. Chúng mang lại sự linh hoạt hơn vì các liên kết cứng nhắc không được sử dụng. Một số bộ điều khiển chân không bao gồm các thiết bị lắp đặt hoặc bộ phận tác động cuối. Những thứ khác bao gồm khóa tải và gậy lắc lư. Thông thường, bộ điều khiển chân không được sử dụng kết hợp với buồng chân không. Bộ xử lý wafer hoặc robot là một loại máy điều khiển chân không tự động để di chuyển các tấm wafer hoặc chất nền vào hoặc ra khỏi PVD, CVD, khắc plasma hoặc các buồng xử lý chân không khác. Để tạo ra buồng chân không, một động cơ chân không hoặc động cơ trong chân không sẽ bơm không khí từ bình cho đến khi đạt được áp suất dưới khí quyển mong muốn. Nếu buồng chân không chứa chân không cực cao thì phải sử dụng bộ điều khiển chân không cực cao và động cơ chân không cực cao.
1. Thiết kế độc đáo của mút có thể làm cho vật thể tăng hoặc giảm theo ý muốn, nhưng cũng có thể xoay theo bất kỳ hướng nào của chỗ ngồi cố định của mút để giúp thao tác thuận tiện và chính xác. Thiết kế điều khiển từ xa mang đến sự tiện lợi khi thao tác và đảm bảo an toàn cho người sử dụng.
2. Kẹp của máy hút chân không sử dụng tấm hút nhập khẩu, có lực hấp phụ mạnh, độ an toàn cao và bảo vệ sản phẩm khỏi bị hư hỏng.
3. Cần cẩu chân không có thể dễ dàng vận chuyển các vật dụng có bề mặt dễ vỡ, khó nâng và nhẵn để nâng cao hiệu quả, giảm nhân công và tiết kiệm chi phí doanh nghiệp.